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              氧化鋯靶

                產品說明

              以等離子體為熱源將相應粉末加熱到熔融或半熔融狀態并高速沖擊背管表面形成致密涂層,從而制備出高純度、高致密度ZrOx靶材。

              項目 

              參數 

              檢測手段

              純度 (%)

              ≥99.9


              密度 (g/cm3)

              ≥5.4


              阿基米德密度儀


              雜質含量 (ppm)

              Al: ≤100 

              Cr: ≤50 

              Ti: ≤100  

              Fe: ≤200  

              雜質總和 : ≤1000


              電阻率 (Ω?cm)

              ≤0.5

              四探針電阻率儀

                靶材尺寸

              按照圖紙要求加工

                背管尺寸

              選用304/316L不銹鋼(無磁)

                應用領域

              光學玻璃AR膜系 

              Low-E鍍膜玻璃 

              工具鍍膜和裝飾鍍膜

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